Doppio

Informazioni basilari.

Descrizione del prodotto

Il rivestimento sputtering magnetron DC a doppio target è un'apparecchiatura di rivestimento sputtering magnetron economica sviluppata indipendentemente dalla nostra azienda. È standardizzato, modulare e personalizzabile. Puoi scegliere tra bersagli magnetron da 1 pollice o 2 pollici. I clienti possono scegliere il target in base alle dimensioni del substrato da rivestire. Il dispositivo è dotato di due alimentatori DC da 500W. L'alimentatore CC può essere utilizzato per la preparazione della pellicola metallica. I due target possono soddisfare le esigenze di rivestimenti multistrato o multipli.
La macchina di rivestimento è dotata di un flussometro di massa ad alta precisione a due canali. Se si hanno altri requisiti, è possibile personalizzare il percorso del gas di misuratori di portata massica fino a quattro canali per soddisfare i complessi requisiti di costruzione dell'ambiente gassoso. Lo strumento è dotato di set di pompe turbomolecolari avanzati, il vuoto finale arriva fino a 1,0E-5Pa e sono disponibili per l'acquisto altri tipi di pompe molecolari. Il percorso del gas della pompa molecolare è controllato da più elettrovalvole, è possibile aprire la camera per estrarre il campione senza spegnere la pompa, migliorando notevolmente l'efficienza del lavoro. Questo prodotto può essere dotato di un computer industriale integrato per il controllo del sistema. Nel programma per computer è possibile realizzare la maggior parte delle funzioni come il controllo della pompa a vuoto e il controllo della potenza di sputtering, il che può migliorare ulteriormente l'efficienza sperimentale.